但国内半导体零部件产业仍面临着国产化率低下，产业长期支持和Si硅环等结构件Pump真空泵MFC气体流量计精密轴承；中国半导体又一重要部件国产厂商市占率不到5%5月11日，临港区与韩国VPS株式会社成功签约半导体真空泵项目，预计投资1000万。1995年10月23日，深圳寿力厂房破土动工，1997年3月投入使用1...