半导体工艺真空主要用在蒸发，溅射，PECVD，真空干法刻蚀，真空吸附，测试设备，真空清扫等等键合工序，半导体生产制造过程中容易产生易燃易爆以及有害的物质气体，会对生产及人员安全造成威胁，因此，半导体真空泵应用时需要注意的几个安全事项1定期清洗真空泵及其他附件过滤管道，避免超压半导体真空；1容积变化泵如旋片泵和涡...