往复式真空泵简称往复泵又名活塞式真空泵，属于低真空获得设备之一它与旋片式真空泵相比较，它能被制成大抽速的泵与水。螺杆真空泵属于非接触型干式泵，是20世纪90年代初期出现的一种理想的泵种，以其抽速范围宽结构简单紧凑抽气腔元件无摩擦。属于这类泵的有往复式真空泵旋转式机械泵包括旋片式螺杆式罗茨式液环式等这类泵中除机械...