1、螺杆与螺杆之间都有一定的间隙，因此泵工作时，相互之间无摩擦，无需润滑油3基于干式螺杆真空泵的这些特点，其在半导体。2、螺杆式真空泵转子间存在严格间隙，泵腔内无油，可抽除腐蚀性气体有毒及含粉尘可凝性蒸气等复杂气体2结构简单，动平衡。3、螺杆与螺杆之间都有一定的间隙，真空泵在工作时，相互之间无磨擦，运转平稳，噪...