国外几乎每一家较大的真空公司都生产各种不同型式的干式真空泵螺杆真空泵属于非接触型干式泵，是20世纪90年代初期出现的一种理想的泵种，以其抽速范围宽结构简单紧凑抽气腔元件无摩擦寿命长能耗低无油污染等优点得以广泛应用干式螺杆真空泵由于其优越的性能，在欧美和日本目前已经成为微电子。真空泵种类繁多，包括无油真空泵旋片式真...