1、根据其工作原理，真空泵主要分为气体输送泵和气体捕集泵两大类气体输送泵包括了液环真空泵水环真空泵往复式真空泵旋片式真空泵定片式真空泵滑阀式真空泵余摆线真空泵干式真空泵罗茨真空泵分子真空泵牵引分子泵复合式真空泵水喷射真空泵气体喷射泵蒸汽喷射泵和扩散泵。2、排气流程为机械泵先将真空腔抽至小于20*102PA左右的低...