4罗茨真空泵由一对相互啮合的转子组成，通过转子的旋转来提供真空，适合用于高真空度的情况5水环式真空泵利用水环作为密封件，通过转子的旋转产生真空，常用于抽吸清洁无腐蚀性气体6扩散泵依靠高速旋转的转子使气体分子获得动能，然后通过介质的冷却实现真空抽取，适用于超高真空7。极限真空度大致在2000~4000帕斯卡，...