1按工作原理分类气体输送泵包括变容真空泵如往复式旋片式和动量传输泵如分子泵喷射泵扩散泵离子输运泵气体捕集泵包括吸附泵吸气剂泵吸气剂离子泵低温泵等2按真空度分类粗真空泵高真空泵和超高真空泵，其中高真空泵包括滑阀式旋片式罗茨真空泵；真空度一般分为粗真空中真空高真空超高真空一般如果能做到真空度在01mbar，大...