极限真空度可达00001Pa，但其价格较高，建议选用罗茨旋片真空机组，目前国内做的最小的罗茨旋片机组为ZJ15罗茨真空泵15Ls＋“2X－4”旋片式真空泵此类真空机组可考虑到上海一带购买；罗茨干式真空泵国内能做的了的一个巴掌数的过来但是在国外，罗茨干式真空泵最广泛其实在同样加工精度下，罗茨结构更稳定上面说的都是真空...