故在这种类型里通常见到的是两台罗茨泵串联后再用双级泵作前级泵图1组成机组如果需要更高的极限压力，可用三台罗茨泵与水环泵组合，它的极限压力可达1Pa3如果三级罗茨水环机组还不能满足极限压力时，可采用罗茨泵水环泵并联机械真空泵此机组主要用于需要处理大量水蒸汽，时间长且极限；旋片式真空泵选用的旋片泵作为前级泵，因此它克服...