1950年代，螺杆压缩机开始产业化，但当时需要润滑油进行冷却和密封在上世纪八九十年代，干式螺杆泵在日本实现了量产化日本EbraUlvacKashiyamaTaiko美国Tuthill欧洲EdwardsPfeiferBuchLebold中国汉钟久铮等，都是干式螺杆真空泵的代表企业其中，Edwards的ixl系列螺杆泵...