(pfeiffer真空泵故障代码e006)

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5、右侧同样如此，分子在B点附近，α2角度反射回右侧，β2角度部分回左，γ2角度则直接穿透叶片至左侧通过倾斜叶片设计，气体分子更易从左侧穿过，形成从左侧向右侧的持续流动，从而实现抽气作用以Pfeiffer TPU 150为例的涡轮分子泵，其内部结构就是这样巧妙地运作的。