根据其工作原理,真空泵主要分为气体输送泵和气体捕集泵两大类气体输送泵包括了液环真空泵水环真空泵往复式真空泵旋片式真空泵定片式真空泵滑阀式真空泵余摆线真空泵干式真空泵罗茨真空泵分子真空泵牵引分子泵复合式真空泵水喷射真空泵气体喷射泵蒸汽喷射泵和扩散泵。
H代表滑阀真空泵,GL代表锆铝吸气剂泵,ZJ代表罗茨真空泵机械增压泵,DZ代表制冷机低温泵,YZ代表余摆线真空泵,DG代表灌注式低温泵,L代表溅射离子泵,IF代表分子筛吸附泵,XD代表单级多旋片式真空泵,SZ代表水环泵,F代表分子泵,PS代表水喷射泵,K代表油扩散真空泵,P代表水蒸气喷射泵。
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