(罗茨真空泵的维修技术教程)

1、串连机械泵，如旋片泵水环泵往复泵等；罗茨真空泵一般作为前级泵使用，与水环真空泵和螺杆真空泵组合形成真空机组；真空泵的抽速不是恒定的，罗茨泵组的抽速取决于前级泵和罗茨泵各自的抽速，两个泵同时启动，由于一般罗茨泵的抽速比前几泵的抽速快好多，当罗茨泵进气口和出气口的压差达到罗茨泵设计的压差时，主要前级泵在抽气，一般；如果真空度要求在－710mmHg以上，可选用水环－大气泵或水环－罗茨真空机组作为抽真空装置如果只作真空泵用，则选用单作用泵比较好因为单作用泵的构造简单，容易制造和维护，且在高真空情况下抗汽蚀性好 如果仅作较大。

2、如果是靠活塞往复运动或旋转将气体吸入压缩并排出的真空泵，如往复真空泵旋片真空泵滑阀真空泵罗茨真空泵，产生噪音的原因很大程度来自活塞的磨损应避免在最大真空度或最大排气压力附近运行真空泵在此区域内运行，不仅效率极低。

3、真空泵是一种将气体从封闭容器或系统中抽出，使其内部形成真空状态的设备它在许多领域中都有广泛的应用，以下是真空泵的主要用途和作用1 半导体制造在半导体制造过程中，需要在高真空环境下进行，以避免杂质和污染。

4、如果需要更高的极限压力，可以使用三台罗茨泵与水环泵组合，它的极限压力可以达到1Pa倘若三级水环机组还是不能满足极限压力的时候，我们可以采用水环泵并联机械真空泵这个机组主要用于需要处理大量水蒸汽，时间长且极限真空。