(两台真空泵串联接线图)

可以互补在真空机组中用两个以上真空泵可以互补，当一台真空泵失效时，另一台可以接替，确保系统的连续运行真空泵是指利用机械物理化学或物理化学的方法对被抽容器进行抽气而获得真空的器件或设备。

罗茨泵2500+1个罗茨泵600+2个并联滑阀泵H150 就可以了，滑阀泵H150作为粗抽到500Pa左右开启罗茨泵，维持泵也可以开启其中一台维持，在罗茨泵不运行时，罗茨泵只作为一个通道使用，同时在系统连接时在每台滑阀泵上加一。

泵串联一般是为了增加腔体的真空程度工业上为了得到超高真空，一般是串联真空泵常见的真空串联方式是，真空腔体先接涡轮分子泵，再接扩散泵再接油机械泵原因比较复杂泵串联起来后使用有一定的讲究，开机时先开油。

103帕以上多台罗茨泵和螺杆真空泵的串联真空度取决于泵的类型和连接方式，可以达到103帕以上罗茨泵与螺杆泵的转动部件都是不接触件，机组具备运转平稳噪音低振动小，结构紧凑占地面积小等优点。