(真空泵cfm)

检测仪器有两种，一种是气溶胶光度计，另一种是粒子计数器，高效过滤器检漏中常用的检测仪器是气溶胶光度计以下简称光度计，是一种前散射线性光度计，它由真空泵光散射室光电倍增管信号处理转换器和微处理器等。

托里拆利认为，玻璃管汞面上的空间是真空，76厘米高的汞柱是因为存在大气压力的缘故1650年，德国的盖利克制成活塞真空泵1654年，他在马德堡进行了著名的马德堡半球试验用真空泵将两个合在一起的直径为14英寸35。