(真空泵说明书)

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如移动转动加热降温拉长等的装置探测器用来收集电子的信号或次级信号真空装置用以保障显微镜内的真空状态，这样电子在其路径上不会被吸收或偏向，由机械真空泵扩散泵和真空阀门等构成，并通过抽气管道与镜筒相联接电源柜由高压发生器励磁电流稳流器和各种调节控制单元组成。