1、如果还不能满足要求，可在罗茨泵上方再串联油扩散泵，极限真空度可达00001Pa，但其价格较高，建议选用罗茨旋片真空机组，目前国内做的最小的罗茨旋片机组为ZJ15罗茨真空泵15Ls＋“2X－4”旋片式真空泵。2、1抽气速度快往复式真空泵的抽气速度较快，可以快速将气体抽出，适用于需要快速达到高真空度的场合2抽...