1、如果还不能满足要求,可在罗茨泵上方再串联油扩散泵,极限真空度可达00001Pa,但其价格较高,建议选用罗茨旋片真空机组,目前国内做的最小的罗茨旋片机组为ZJ15罗茨真空泵15Ls+“2X-4”旋片式真空泵。
2、1 抽气速度快往复式真空泵的抽气速度较快,可以快速将气体抽出,适用于需要快速达到高真空度的场合2 抽真空范围广往复式真空泵可以在较高的压力范围内工作,可以抽取大部分气体分子3 结构简单往复式真空泵的结构相对简单,易于维护和保养4 耐用性好往复式真空泵的部件相对坚固,使。
1、如果还不能满足要求,可在罗茨泵上方再串联油扩散泵,极限真空度可达00001Pa,但其价格较高,建议选用罗茨旋片真空机组,目前国内做的最小的罗茨旋片机组为ZJ15罗茨真空泵15Ls+“2X-4”旋片式真空泵。
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