而高真空级处气体分子自由程大，气体阻力大，故间隙可以取得比低真空级大例如英国EDWARDS公司的E2M40旋片泵，低真空级端面间隙为006mm，而高真空级端面间隙为0095mm又如日本ULVAC真空技术株式会社的D650K旋片泵。继而，气筒内部的气体输送到气筒外部，实现了排气22气体捕集泵气体捕集泵是...