(edwards真空泵RV12中国官网)

而高真空级处气体分子自由程大，气体阻力大，故间隙可以取得比低真空级大例如英国EDWARDS 公司的E2M40旋片泵， 低真空级端面间隙为006 mm，而高真空级端面间隙为0095mm又如日本ULVAC真空技术株式会社 的D650K旋片泵。

继而，气筒内部的气体输送到气筒外部，实现了排气22 气体捕集泵 气体捕集泵是通过合适的温度将气体冷凝到活性衬底上，比如活性炭3 真空泵的厂家 国内中科科仪，沈阳科仪，北仪优成等国外EDWARDS， ULVAC，AGILENT。